射頻電源是等離子體配套電源，它是由射頻功率源、阻抗匹配器、阻抗功率計組成，是八十年代末期中國新興的高科技領(lǐng)域，被廣泛的應(yīng)用于射頻濺出，PECCD化學(xué)氣相沉積，反應(yīng)離子刻蝕等等設(shè)備中。SEREN射頻電源被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、美容等等領(lǐng)域。那么SEREN射頻電源維修具體維修方法有哪些呢？

 

想要更好的進(jìn)行SEREN射頻電源維修就要深入的了解射頻功率源相關(guān)的技術(shù)知識。首先要了解其主要技術(shù)性能射頻源，有板極電壓2001500V連續(xù)可調(diào)；板極電流小于等于0.36A；板極直流消耗功率小于等于0.58KW；輸出功率6500W連續(xù)可調(diào)；頻率13.56MHZ匹配箱有阻抗、手動調(diào)節(jié)網(wǎng)絡(luò)參數(shù)以匹配。

 

其次就是對于SEREN射頻電源維修幾種故障的判斷，1.在正常的工作時如果說發(fā)生跳閘現(xiàn)象，則說明直流電的部分出現(xiàn)了故障；2.其中的UA突然變大會極有可能導(dǎo)致電子管的損壞，而有UA無LA時候是驅(qū)動板有故障或者是高頻插頭接觸不良。SEREN射頻電源維修這種維修方法，UA接線斷、表頭上有UA而電子管上面沒有；3.有UA\LA小無PF\PR。導(dǎo)致這些現(xiàn)象原因是連接射頻源和匹配器或者功率計的電纜插頭與插座接觸不良或者根本沒有接觸上，SEREN射頻電源維修用鉗子或者鑷子將插座芯向里面挾一下，再用酒精棉球?qū)⒉孱^擦干凈再插上。UALA較小有PF\PR但是較大調(diào)不下來不起輝。原因是匹配器輸出電纜插頭座之間接觸不良，SEREN射頻電源維修解決辦法同樣是使用鉗子或者是鑷子來向里面挾一下。4.UALA很大，原因是UGL無激勵。5.射頻功率源以及其它儀表的安裝，射頻功率源通常用于和等離子設(shè)備配套該設(shè)備除了主機以及射頻源以外還有其它的真空儀表，若是安裝不合理射頻源會干擾。

 

看到以上的關(guān)于SEREN射頻電源維修具體的維修方法大家是否覺得還是很簡單的呢？其實SEREN射頻電源維修找出來故障的原因才是困難的，作為操作者**要記住，當(dāng)射頻電源發(fā)生故障的時候千萬不要自己上手去維修，因為其中的元件都是很小體積的，很容易弄丟，且錯誤的維修會導(dǎo)致更大的故障，因此操作者**要記住打電話叫凌科自動化工程師上門維修。此外，在打電話的時候**要說清楚射頻電源的故障現(xiàn)象，以便于維修人員更好的判斷故障，帶上合適的維修工具。